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Lv.3 学术文献阅读达人
2020/05/04 20:18
原子层沉积技术在含能材料表面修饰中的应用研究进展
介绍了原子层沉积技术的原理和特点。在表面修饰及改性方面,所具有薄膜厚度精确可控,工作温度低和大面积及三维均匀性方面的优势。

作者: 国防科技大学图书馆
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