检索条件: Plasma etching ( 任意词 )
责任者 Russ A. Morgan
出版信息 Elsevier ,1985
ISBN
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Plasma etching in semiconductor fabrication
Russ A. Morgan.Elsevier,1985.
责任者 Stansfield, Barry L.
出版信息 Oxford University Press, ,1998.
ISBN 9780198562870 :
Plasma etching : fundamentals and applications /
Stansfield, Barry L..Oxford University Press,,1998..
责任者 B. Chapman
出版信息 Wiley ,1980
Glew discharge processes:sputtering and plasma etching
B. Chapman.Wiley,1980.
责任者 赵晋荣
出版信息 电子工业出版社 ,2023
ISBN 978-7-121-45018-1
等离子体刻蚀工艺及设备
赵晋荣.电子工业出版社,2023.
责任者 张海洋
出版信息 清华大学出版社 ,2018
ISBN 978-7-302-48959-7
等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用
张海洋.清华大学出版社,2018.
出版信息 清华大学出版社 ,2023
ISBN 978-7-302-61439-5
张海洋.清华大学出版社,2023.
责任者 Thompson, L. F.,,Willson, C. G.,Bowden, M. J.,
出版信息 American Chemical Society, ,c1994.
ISBN 9780841228481
Introduction to microlithography /
Thompson, L. F.,,Willson, C. G.,Bowden, M. J.,.American Chemical Society,,c1994..
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