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1 图书 Plasma etching in semiconductor fabrication
责任者 Russ A. Morgan

出版信息 Elsevier ,1985

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Russ A. Morgan.Plasma etching in semiconductor fabrication.Elsevier,1985.
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Plasma etching in semiconductor fabrication

Russ A. Morgan.Elsevier,1985.
2 图书 Plasma etching : fundamentals and applications /
责任者 Stansfield, Barry L.

出版信息 Oxford University Press, ,1998.

ISBN 9780198562870 :

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Stansfield, Barry L..Plasma etching : fundamentals and applications /.Oxford University Press,,1998..
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Plasma etching : fundamentals and applications /

Stansfield, Barry L..Oxford University Press,,1998..
3 图书 Glew discharge processes：sputtering and plasma etching
责任者 B. Chapman

出版信息 Wiley ,1980

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B. Chapman.Glew discharge processes：sputtering and plasma etching.Wiley,1980.
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Glew discharge processes：sputtering and plasma etching

B. Chapman.Wiley,1980.
4 图书等离子体刻蚀工艺及设备
责任者赵晋荣

出版信息电子工业出版社 ,2023

ISBN 978-7-121-45018-1

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赵晋荣.等离子体刻蚀工艺及设备.电子工业出版社,2023.
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等离子体刻蚀工艺及设备

赵晋荣.电子工业出版社,2023.
5 图书等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用
责任者张海洋

出版信息清华大学出版社 ,2018

ISBN 978-7-302-48959-7

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张海洋.等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用.清华大学出版社,2018.
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等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用

张海洋.清华大学出版社,2018.
6 图书等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用
责任者张海洋

出版信息清华大学出版社 ,2023

ISBN 978-7-302-61439-5

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张海洋.等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用.清华大学出版社,2023.
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等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用

张海洋.清华大学出版社,2023.
7 图书 Introduction to microlithography /
责任者 Thompson, L. F.,,Willson, C. G.,Bowden, M. J.,

出版信息 American Chemical Society, ,c1994.

ISBN 9780841228481

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Thompson, L. F.,,Willson, C. G.,Bowden, M. J.,.Introduction to microlithography /.American Chemical Society,,c1994..
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Introduction to microlithography /

Thompson, L. F.,,Willson, C. G.,Bowden, M. J.,.American Chemical Society,,c1994..

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