检索条件： Norma G. Einspruch, Dale M. Brown ( 著者 )
责任者 Norma G. Einspruch, Dale M. Brown
出版信息 Academic Pr. Inc. ,1984
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VLSI electronics：microstructure science．V.8，plasma processing for VLSI
Norma G. Einspruch, Dale M. Brown.Academic Pr. Inc.,1984.
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