检索条件: Microlithography ( 主题词 )
责任者 Landis, Stefan.
出版信息 ISTE ; ,2011.
ISBN 9781848212022 (hardback) :
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Lithography : main techniques /
Landis, Stefan..ISTE ;,2011..
责任者 Thompson, L. F.,,Willson, C. G.,Bowden, M. J.,
出版信息 American Chemical Society, ,c1994.
ISBN 9780841228481
Introduction to microlithography /
Thompson, L. F.,,Willson, C. G.,Bowden, M. J.,.American Chemical Society,,c1994..
责任者 Merhari, Lhadi,
出版信息 Materials Research Society, ,2014.
ISBN 978-1-107-41417-4
Materials issues and modeling for device nanofabrication: symposi held November 29-December 2, 1999, Boston, Massachusetts, U.S.A.
Merhari, Lhadi,.Materials Research Society,,2014..
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