检索条件： Microactuators ( 主题词 )
责任者 De Boer, Maarten.
出版信息 Cambridge University Press ,2014
ISBN 978-1-107-41321-4
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Materials science of microelectromechanical systems (MEMS) devices II: symposium held November 29-December 1, 1999, Boston, Massachusetts, U.S.A.
De Boer, Maarten..Cambridge University Press,2014.
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