检索条件： Micro electro mechanical systems ( 任意词 )
责任者
出版信息 IEEE ,1992
ISBN 0-7803-0497-7
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IEEE Micro Electro Mechanical Systems (1992 : Travemunde)
.IEEE,1992.
责任者 石庚辰
出版信息 国防工业出版社 ,2002
ISBN 7-118-02560-7
微机电系统技术
石庚辰.国防工业出版社,2002.
责任者 IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems
出版信息 IEEE ,1991
ISBN
IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems (4th : 1991 :Nara)：Micro electro mechanical systems
IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems.IEEE,1991.
责任者 IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems,MEMS
出版信息 IEEE ,1990
IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems (3rd : 1990 : California)：IEEE micro electro mechanical systems, and investigation of micro structures sensors. actuators machines and robots
IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems,MEMS.IEEE,1990.
责任者 International Conference on Micro Electro, Mechanic Systems and Components
出版信息 Springer ,1990
International Conference on Micro Electro, Mechanic Systems and Components(1st : 1990 : Berlin)：Micro system technologies 90
International Conference on Micro Electro, Mechanic Systems and Components.Springer,1990.
责任者 田文超,娄利飞
出版信息 西安电子科技大学出版社 ,2014
ISBN 978-7-5606-3335-0
微机电技术
田文超,娄利飞.西安电子科技大学出版社,2014.
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