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1 图书 Atomic layer deposition : principles, characteristics, and nanotechnology applications /
责任者 K？？ri？inen, Tommi.

出版信息 Scrivener Publishing, ,c2013.

ISBN 9781118062777 (cloth : alk. paper) :

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K？？ri？inen, Tommi..Atomic layer deposition : principles, characteristics, and nanotechnology applications /.Scrivener Publishing,,c2013..
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K？？ri？inen, Tommi..Scrivener Publishing,,c2013..

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