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1 图书 International Conference on Microlithography(1989 : Cambridge)：Microcircuit engineering 89
责任者 International Conference on Microlithography

出版信息 Elsevier ,1990

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International Conference on Microlithography.International Conference on Microlithography(1989 : Cambridge)：Microcircuit engineering 89.Elsevier,1990.
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International Conference on Microlithography(1989 : Cambridge)：Microcircuit engineering 89

International Conference on Microlithography.Elsevier,1990.
2 图书 International Conference on Microlithography(1981 : Lausanne)：Microcircuit engineering 81; proceedings
责任者 International Conference on Microlithography

出版信息 Swiss Federal Institute of Technology ,1981

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International Conference on Microlithography.International Conference on Microlithography(1981 : Lausanne)：Microcircuit engineering 81; proceedings.Swiss Federal Institute of Technology,1981.
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http://libopac.nudt.edu.cn:80/opac/book/35375
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International Conference on Microlithography(1981 : Lausanne)：Microcircuit engineering 81; proceedings

International Conference on Microlithography.Swiss Federal Institute of Technology,1981.

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