检索条件： Inertial MEMS : ( 题名 )
责任者 Volker Kempe.
出版信息 Cambridge University Press, ,2011.
ISBN 9780521766586 (hardback)
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Inertial MEMS : principles and practice /
Volker Kempe..Cambridge University Press,,2011..
责任者 肯普
出版信息 国防工业出版社 ,2016
ISBN 978-7-118-10887-3
惯性MEMS器件原理与实践
肯普.国防工业出版社,2016.
责任者 尤政,赵嘉昊
出版信息 国防工业出版社 ,2019
ISBN 978-7-118-11947-3
MEMS技术前沿与应用发展
尤政,赵嘉昊.国防工业出版社,2019.
责任者 朱真
出版信息 国防工业出版社 ,2024
ISBN 978-7-118-13400-1
传感器与MEMS设计制造技术
朱真.国防工业出版社,2024.
责任者 朱健
出版信息 国防工业出版社 ,2012
ISBN 978-7-118-08501-3
RF MEMS器件设计、加工和应用
朱健.国防工业出版社,2012.
责任者 Joel Kubby.
ISBN 978-1-107-64579-0
A guide to hands-on MEMS design and prototyping /
Joel Kubby..Cambridge University Press,,2011..
责任者 王晓洁,唐飞,杨兴,王喆垚
出版信息 国防工业出版社 ,2015
ISBN 978-7-118-10293-2
生化MEMS器件
王晓洁,唐飞,杨兴,王喆垚.国防工业出版社,2015.
责任者 苑伟政,谢建兵,焦文龙
出版信息 国防工业出版社 ,2014
ISBN 978-7-118-09583-8
MEMS集成设计技术及应用
苑伟政,谢建兵,焦文龙.国防工业出版社,2014.
责任者 江刺正喜
出版信息 化学工业出版社 ,2023
ISBN 978-7-122-42711-3
MEMS三维芯片集成技术
江刺正喜.化学工业出版社,2023.
责任者 苑伟政,乔大勇
出版信息 科学出版社 ,2014
ISBN 978-7-03-039974-8
微机电系统（MEMS）制造技术
苑伟政,乔大勇.科学出版社,2014.
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