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1 图书 Plasma etching : fundamentals and applications /
责任者 Stansfield, Barry L.

出版信息 Oxford University Press, ,1998.

ISBN 9780198562870 :

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Stansfield, Barry L..Plasma etching : fundamentals and applications /.Oxford University Press,,1998..
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Plasma etching : fundamentals and applications /

Stansfield, Barry L..Oxford University Press,,1998..
2 图书 Introduction to microlithography /
责任者 Thompson, L. F.,,Willson, C. G.,Bowden, M. J.,

出版信息 American Chemical Society, ,c1994.

ISBN 9780841228481

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Thompson, L. F.,,Willson, C. G.,Bowden, M. J.,.Introduction to microlithography /.American Chemical Society,,c1994..
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http://libopac.nudt.edu.cn:80/opac/book/473800
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Introduction to microlithography /

Thompson, L. F.,,Willson, C. G.,Bowden, M. J.,.American Chemical Society,,c1994..

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