检索条件: Electron-beam technology in microelectronic fabrication ( 题名 )
责任者 Luryi, Serge.,Xu, Jimmy.,Zaslavsky, Alexander.
出版信息 WILEY-IEEE, ,c2010.
ISBN 9780470551370 (cloth) :
责任者 Livshits, Pavel.,Gur, Eran.
出版信息 Elsevier/William Andrew, ,[2014]
ISBN 9780323241434 :
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出版信息 Materials Research Society ; ,2012.
ISBN 9781605113128 (hbk.)
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责任者 edited by Joachim N. Burghartz, Institute for microelectronics Stuttgart (IMS CHIPS), Germany.
出版信息 John Wiley & Sons Inc., ,2013.
ISBN 9781118347263 (hardback) :
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