检索条件： 薄膜真空沉积中的等离子体探测方法与技术 ( 题名 )
责任者 陈吉堃
出版信息 科学出版社 ,2021
ISBN 978-7-03-069915-2
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薄膜真空沉积中的等离子体探测方法与技术
陈吉堃.科学出版社,2021.
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