检索条件： 薄膜物理学∶等离子体物理学 ( 主题词 )
责任者 小沼光晴
出版信息 国防工业出版社 ,1994.6
ISBN 7-118-01141-X
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等离子体与成膜基础
小沼光晴.国防工业出版社,1994.6.
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