检索条件: 等离子刻蚀 ( 主题词 )
责任者 赵晋荣
出版信息 电子工业出版社 ,2023
ISBN 978-7-121-45018-1
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等离子体刻蚀工艺及设备
赵晋荣.电子工业出版社,2023.
出版信息 科学出版社 ,2024
ISBN 978-7-03-077546-7
集成电路与等离子体装备
赵晋荣.科学出版社,2024.
责任者 张海洋
出版信息 清华大学出版社 ,2023
ISBN 978-7-302-61439-5
等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用
张海洋.清华大学出版社,2023.
出版信息 清华大学出版社 ,2018
ISBN 978-7-302-48959-7
张海洋.清华大学出版社,2018.
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