检索条件: 硅压力传感器 ( 主题词 )
责任者 陆学斌
出版信息 北京大学出版社 ,2023
ISBN 978-7-301-33905-3
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多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器
陆学斌.北京大学出版社,2023.
责任者 王权
出版信息 江苏大学出版社 ,2012
ISBN 978-7-81130-436-7
氢化硅薄膜介观力学行为研究和耐高温压力传感器研制
王权.江苏大学出版社,2012.
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