检索条件: 极紫外光刻 ( 题名 )
责任者 莱文森
出版信息 上海科学技术出版社 ,2022
ISBN 978-7-5478-5721-2
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极紫外光刻
莱文森.上海科学技术出版社,2022.
责任者 埃德曼
出版信息 上海科学技术出版社 ,2023
ISBN 978-7-5478-5720-5
光学光刻和极紫外光刻:a modeling perspective
埃德曼.上海科学技术出版社,2023.
责任者 窦银萍,宋晓伟,陶海岩
出版信息 国防工业出版社 ,2018
ISBN 978-7-118-11793-6
激光等离子体极紫外光刻光源
窦银萍,宋晓伟,陶海岩.国防工业出版社,2018.
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