检索条件： 微机电 ( 主题词 )
责任者 何广平,赵明,赵全亮,刘峰斌
出版信息 中国人民大学出版社 ,2012
ISBN 978-7-03-034316-1
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动态微机电系统：理论与应用
何广平,赵明,赵全亮,刘峰斌.中国人民大学出版社,2012.
责任者 陈文元,张卫平
出版信息 科学出版社 ,2007
ISBN 978-7-03-018329-3
MEMS强链用其应用
陈文元,张卫平.科学出版社,2007.
责任者 李德胜
出版信息 哈尔滨工业大学出版社 ,2002
ISBN 7-5603-1694-8
MEMS 技术及其应用
李德胜.哈尔滨工业大学出版社,2002.
责任者 王跃林,吴国强
出版信息 电子工业出版社 ,2022
ISBN 978-7-121-43208-8
硅基MEMS制造技术
王跃林,吴国强.电子工业出版社,2022.
责任者 乔社里,印纽斯基
出版信息 机械工业出版社 ,2020
ISBN 978-7-111-64958-8
微机电系统 (MEMS)：元器件、电路及系统集成技术和应用
乔社里,印纽斯基.机械工业出版社,2020.
责任者 邱成军,曹姗姗,卜丹
出版信息 哈尔滨工业大学出版社 ,2016
ISBN 978-7-5603-5109-4
微机电系统 (MEMS) 工艺基础与应用
邱成军,曹姗姗,卜丹.哈尔滨工业大学出版社,2016.
责任者 苑伟政,乔大勇
出版信息 科学出版社 ,2014
ISBN 978-7-03-039974-8
微机电系统（MEMS）制造技术
苑伟政,乔大勇.科学出版社,2014.
责任者 苑伟政,常洪龙
出版信息 西北工业大学出版社 ,2010
ISBN 978-7-5612-2758-9
泛结构化微机电系统集成设计方法
苑伟政,常洪龙.西北工业大学出版社,2010.
责任者 蒋永刚
出版信息 北京航空航天大学出版社 ,2023
ISBN 978-7-5124-4022-7
微机电系统工程基础
蒋永刚.北京航空航天大学出版社,2023.
责任者 江刺正喜
出版信息 化学工业出版社 ,2023
ISBN 978-7-122-42711-3
MEMS三维芯片集成技术
江刺正喜.化学工业出版社,2023.
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