检索条件： 微机电 ( 主题词 )
责任者 何广平，赵明，赵全亮，刘峰斌编著
出版信息 中国人民大学出版社 ,2012
ISBN 978-7-03-034316-1
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动态微机电系统：理论与应用
何广平，赵明，赵全亮，刘峰斌编著.中国人民大学出版社,2012.
责任者 陈文元，张卫平著
出版信息 科学出版社 ,2007
ISBN 978-7-03-018329-3
MEMS强链用其应用
陈文元，张卫平著.科学出版社,2007.
责任者 李德胜等编著
出版信息 哈尔滨工业大学出版社 ,2002
ISBN 7-5603-1694-8
MEMS 技术及其应用
李德胜等编著.哈尔滨工业大学出版社,2002.
责任者 邱成军, 曹姗姗, 卜丹编著
出版信息 哈尔滨工业大学出版社 ,2016
ISBN 978-7-5603-5109-4
微机电系统 (MEMS) 工艺基础与应用
邱成军, 曹姗姗, 卜丹编著.哈尔滨工业大学出版社,2016.
责任者 苑伟政，乔大勇著
出版信息 科学出版社 ,2014
ISBN 978-7-03-039974-8
微机电系统（MEMS）制造技术
苑伟政，乔大勇著.科学出版社,2014.
责任者 苑伟政, 常洪龙著
出版信息 西北工业大学出版社 ,2010
ISBN 978-7-5612-2758-9
泛结构化微机电系统集成设计方法
苑伟政, 常洪龙著.西北工业大学出版社,2010.
责任者 孟光, 张文明著
出版信息 科学出版社 ,2008
ISBN 978-7-03-021872-8
微机电系统动力学
孟光, 张文明著.科学出版社,2008.
责任者 王跃林, 吴国强等编著
出版信息 电子工业出版社 ,2022
ISBN 978-7-121-43208-8
硅基MEMS制造技术
王跃林, 吴国强等编著.电子工业出版社,2022.
责任者 (美) 维卡斯·乔社里, (加) 克日什托夫·印纽斯基著
出版信息 机械工业出版社 ,2020
ISBN 978-7-111-64958-8
微机电系统 (MEMS)：元器件、电路及系统集成技术和应用
(美) 维卡斯·乔社里, (加) 克日什托夫·印纽斯基著.机械工业出版社,2020.
责任者 张文明, 胡开明著
出版信息 科学出版社 ,2023
ISBN 978-7-03-075719-7
MEMS/NEMS谐振器技术
张文明, 胡开明著.科学出版社,2023.
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