检索条件： 微机电系统 (MEMS) 工艺基础与应用 ( 题名 )
责任者 邱成军,曹姗姗,卜丹
出版信息 哈尔滨工业大学出版社 ,2016
ISBN 978-7-5603-5109-4
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微机电系统 (MEMS) 工艺基础与应用
邱成军,曹姗姗,卜丹.哈尔滨工业大学出版社,2016.
责任者 苑伟政,乔大勇
出版信息 西北工业大学出版社 ,2011
ISBN 978-7-5612-3030-5
微机电系统
苑伟政,乔大勇.西北工业大学出版社,2011.
责任者 苑伟政,乔大勇,虞益挺
出版信息 西北工业大学出版社 ,2021
ISBN 978-7-5612-7676-1
苑伟政,乔大勇,虞益挺.西北工业大学出版社,2021.
责任者 尤政,赵嘉昊
出版信息 国防工业出版社 ,2019
ISBN 978-7-118-11947-3
MEMS技术前沿与应用发展
尤政,赵嘉昊.国防工业出版社,2019.
责任者 朱健
出版信息 国防工业出版社 ,2012
ISBN 978-7-118-08501-3
RF MEMS器件设计、加工和应用
朱健.国防工业出版社,2012.
责任者 Joel Kubby.
出版信息 Cambridge University Press, ,2011.
ISBN 978-1-107-64579-0
A guide to hands-on MEMS design and prototyping /
Joel Kubby..Cambridge University Press,,2011..
责任者 王晓洁,唐飞,杨兴,王喆垚
出版信息 国防工业出版社 ,2015
ISBN 978-7-118-10293-2
生化MEMS器件
王晓洁,唐飞,杨兴,王喆垚.国防工业出版社,2015.
责任者 苑伟政,谢建兵,焦文龙
出版信息 国防工业出版社 ,2014
ISBN 978-7-118-09583-8
MEMS集成设计技术及应用
苑伟政,谢建兵,焦文龙.国防工业出版社,2014.
责任者 江刺正喜
出版信息 化学工业出版社 ,2023
ISBN 978-7-122-42711-3
MEMS三维芯片集成技术
江刺正喜.化学工业出版社,2023.
出版信息 科学出版社 ,2014
ISBN 978-7-03-039974-8
微机电系统（MEMS）制造技术
苑伟政,乔大勇.科学出版社,2014.
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