检索条件： 微机电系统 (MEMS) ( 题名 )

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1 图书微机电系统（MEMS）制造技术
责任者苑伟政,乔大勇

出版信息科学出版社 ,2014

ISBN 978-7-03-039974-8

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苑伟政,乔大勇.微机电系统（MEMS）制造技术.科学出版社,2014.
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微机电系统（MEMS）制造技术

苑伟政,乔大勇.科学出版社,2014.
2 图书微机电系统 (MEMS)：元器件、电路及系统集成技术和应用
责任者乔社里,印纽斯基

出版信息机械工业出版社 ,2020

ISBN 978-7-111-64958-8

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乔社里,印纽斯基.微机电系统 (MEMS)：元器件、电路及系统集成技术和应用.机械工业出版社,2020.
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微机电系统 (MEMS)：元器件、电路及系统集成技术和应用

乔社里,印纽斯基.机械工业出版社,2020.
3 图书微机电系统 (MEMS) 工艺基础与应用
责任者邱成军,曹姗姗,卜丹

出版信息哈尔滨工业大学出版社 ,2016

ISBN 978-7-5603-5109-4

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邱成军,曹姗姗,卜丹.微机电系统 (MEMS) 工艺基础与应用.哈尔滨工业大学出版社,2016.
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微机电系统 (MEMS) 工艺基础与应用

邱成军,曹姗姗,卜丹.哈尔滨工业大学出版社,2016.
4 图书微机电系统(MEMS)设计和原型设计指南
责任者库比

出版信息国防工业出版社 ,2014

ISBN 978-7-118-09690-3

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库比.微机电系统(MEMS)设计和原型设计指南.国防工业出版社,2014.
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微机电系统(MEMS)设计和原型设计指南

库比.国防工业出版社,2014.

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