检索条件： 微机电系统 ( 主题词 )
责任者 王跃林, 吴国强等编著
出版信息 电子工业出版社 ,2022
ISBN 978-7-121-43208-8
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硅基MEMS制造技术
王跃林, 吴国强等编著.电子工业出版社,2022.
责任者 (美) 维卡斯·乔社里, (加) 克日什托夫·印纽斯基著
出版信息 机械工业出版社 ,2020
ISBN 978-7-111-64958-8
微机电系统 (MEMS)：元器件、电路及系统集成技术和应用
(美) 维卡斯·乔社里, (加) 克日什托夫·印纽斯基著.机械工业出版社,2020.
责任者 张文明, 胡开明著
出版信息 科学出版社 ,2023
ISBN 978-7-03-075719-7
MEMS/NEMS谐振器技术
张文明, 胡开明著.科学出版社,2023.
责任者 乔大勇[等]编著
出版信息 华中科技大学出版社 ,2025
ISBN 978-7-5772-2312-4
微机电系统(MEMS)封装技术
乔大勇[等]编著.华中科技大学出版社,2025.
责任者 朱真等编著
出版信息 国防工业出版社 ,2024
ISBN 978-7-118-13400-1
传感器与MEMS设计制造技术
朱真等编著.国防工业出版社,2024.
责任者 樊尚春编著
ISBN 978-7-118-13401-8
机械量传感器与MEMS技术及应用
樊尚春编著.国防工业出版社,2024.
责任者 主编王平, 王军波
ISBN 978-7-118-13404-9
生物与离子敏传感器MEMS技术及应用
主编王平, 王军波.国防工业出版社,2024.
责任者 汪飞, 刘欢等著
ISBN 978-7-118-13403-2
气体与湿度传感器MEMS技术及应用
汪飞, 刘欢等著.国防工业出版社,2024.
责任者 李经民, 刘冲, 王立鼎编著
出版信息 科学出版社 ,2024
ISBN 978-7-03-079358-4
微纳制造与微机电系统
李经民, 刘冲, 王立鼎编著.科学出版社,2024.
责任者 (日)江刺正喜主编
出版信息 化学工业出版社 ,2023
ISBN 978-7-122-42711-3
MEMS三维芯片集成技术
(日)江刺正喜主编.化学工业出版社,2023.
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