检索条件： 微机电系统 ( 主题词 )
责任者 王跃林,吴国强
出版信息 电子工业出版社 ,2022
ISBN 978-7-121-43208-8
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硅基MEMS制造技术
王跃林,吴国强.电子工业出版社,2022.
责任者 乔社里,印纽斯基
出版信息 机械工业出版社 ,2020
ISBN 978-7-111-64958-8
微机电系统 (MEMS)：元器件、电路及系统集成技术和应用
乔社里,印纽斯基.机械工业出版社,2020.
责任者 蒋永刚
出版信息 北京航空航天大学出版社 ,2023
ISBN 978-7-5124-4022-7
微机电系统工程基础
蒋永刚.北京航空航天大学出版社,2023.
责任者 江刺正喜
出版信息 化学工业出版社 ,2023
ISBN 978-7-122-42711-3
MEMS三维芯片集成技术
江刺正喜.化学工业出版社,2023.
责任者 张文明,胡开明
出版信息 科学出版社 ,2023
ISBN 978-7-03-075719-7
MEMS/NEMS谐振器技术
张文明,胡开明.科学出版社,2023.
责任者 马宗敏
出版信息 西安电子科技大学出版社 ,2022
ISBN 978-7-5606-6530-6
新型微机电系统与器件
马宗敏.西安电子科技大学出版社,2022.
责任者 贝克唐德,施拉格,冯丽红
出版信息 东南大学出版社 ,2020
ISBN 978-7-5641-7263-3
MEMS系统级建模
贝克唐德,施拉格,冯丽红.东南大学出版社,2020.
责任者 高世桥,金磊,刘海鹏
出版信息 北京理工大学出版社 ,2018
ISBN 978-7-5682-6366-5
微纳机电系统力学
高世桥,金磊,刘海鹏.北京理工大学出版社,2018.
责任者 席文明,姚斌
出版信息 国防工业出版社 ,2006
ISBN 7-118-04177-7
微装配与微操作
席文明,姚斌.国防工业出版社,2006.
责任者 国家自然科学基金委员会,中国科学院
出版信息 科学出版社 ,2020.08
ISBN 978-7-03-065240-9
微纳机电系统与微纳传感器技术
国家自然科学基金委员会,中国科学院.科学出版社,2020.08.
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