检索条件： 刻蚀 ( 主题词 )
责任者 张新宇, 谢长生著
出版信息 国防工业出版社 ,2021
ISBN 978-7-118-12284-8
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折射衍射微光学结构的单步光刻与湿法蚀刻原理与应用
张新宇, 谢长生著.国防工业出版社,2021.
责任者 杨丁编著
出版信息 国防工业出版社 ,2008
ISBN 978-7-118-05342-5
金属蚀刻技术
杨丁编著.国防工业出版社,2008.
责任者 陈云, 陈新著
出版信息 科学出版社 ,2023
ISBN 978-7-03-074744-0
半导体湿法刻蚀加工技术
陈云, 陈新著.科学出版社,2023.
责任者 (日) 野尻一男著
出版信息 机械工业出版社 ,2024
ISBN 978-7-111-74202-9
半导体干法刻蚀技术
(日) 野尻一男著.机械工业出版社,2024.
责任者 (美) 索斯藤·莱尔著
出版信息 机械工业出版社 ,2023
ISBN 978-7-111-73426-0
半导体干法刻蚀技术：原子层工艺
(美) 索斯藤·莱尔著.机械工业出版社,2023.
责任者 赵晋荣主编
出版信息 电子工业出版社 ,2023
ISBN 978-7-121-45018-1
等离子体刻蚀工艺及设备
赵晋荣主编.电子工业出版社,2023.
责任者 赵晋荣等主编
出版信息 科学出版社 ,2024
ISBN 978-7-03-077546-7
集成电路与等离子体装备
赵晋荣等主编.科学出版社,2024.
责任者 窦银萍, 宋晓伟, 陶海岩著
出版信息 国防工业出版社 ,2018
ISBN 978-7-118-11793-6
激光等离子体极紫外光刻光源
窦银萍, 宋晓伟, 陶海岩著.国防工业出版社,2018.
责任者 张海洋等编著
出版信息 清华大学出版社 ,2023
ISBN 978-7-302-61439-5
等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用
张海洋等编著.清华大学出版社,2023.
出版信息 清华大学出版社 ,2018
ISBN 978-7-302-48959-7
张海洋等编著.清华大学出版社,2018.
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