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1 图书简明光刻手册
责任者王云翔著

出版信息哈尔滨工程大学出版社 ,2025

ISBN 978-7-5661-4888-9

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王云翔著.简明光刻手册.哈尔滨工程大学出版社,2025.
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简明光刻手册

王云翔著.哈尔滨工程大学出版社,2025.
2 图书光刻技术：here is why
责任者林本坚著

出版信息化学工业出版社 ,2024.8

ISBN 978-7-122-45151-4

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林本坚著.光刻技术：here is why.化学工业出版社,2024.8.
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光刻技术：here is why

林本坚著.化学工业出版社,2024.8.
3 图书极紫外光刻
责任者 (美) 哈利·杰·莱文森著

出版信息上海科学技术出版社 ,2022

ISBN 978-7-5478-5721-2

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(美) 哈利·杰·莱文森著.极紫外光刻.上海科学技术出版社,2022.
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极紫外光刻

(美) 哈利·杰·莱文森著.上海科学技术出版社,2022.
4 图书光学光刻和极紫外光刻：a modeling perspective
责任者 (德) 安迪·爱德曼著

出版信息上海科学技术出版社 ,2023

ISBN 978-7-5478-5720-5

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(德) 安迪·爱德曼著.光学光刻和极紫外光刻：a modeling perspective.上海科学技术出版社,2023.
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光学光刻和极紫外光刻：a modeling perspective

(德) 安迪·爱德曼著.上海科学技术出版社,2023.
5 图书超大规模集成电路先进光刻理论与应用
责任者韦亚一著

出版信息科学出版社 ,2016

ISBN 978-7-03-048268-6

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韦亚一著.超大规模集成电路先进光刻理论与应用.科学出版社,2016.
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超大规模集成电路先进光刻理论与应用

韦亚一著.科学出版社,2016.

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