检索条件： 严利人 ( 著者 )
责任者 严利人
出版信息 清华大学出版社有限公司 ,2010.3
ISBN 978-7-302-20818-1
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微电子制造技术概论
严利人.清华大学出版社有限公司,2010.3.
责任者 严利人,周卫
出版信息 科学出版社 ,2017
ISBN 978-7-03-050157-8
集成电路制造工艺技术体系
严利人,周卫.科学出版社,2017.
责任者 坎贝尔
出版信息 电子工业出版社 ,2023
ISBN 978-7-121-44746-4
微电子制造科学原理与工程技术
坎贝尔.电子工业出版社,2023.
责任者 斯蒂芬 A. 坎贝尔
出版信息 电子工业出版社 ,2011.05
ISBN 978-7-121-13428-9
Fabrication engineering at the micro-and nanoscale
斯蒂芬 A. 坎贝尔.电子工业出版社,2011.05.
责任者 普卢默,迪尔,格里芬
出版信息 电子工业出版社 ,2005
ISBN 7-121-01987-6
硅超大规模集成电路工艺技术：理论、实践与模型：fundamentals, practice and modeling
普卢默,迪尔,格里芬.电子工业出版社,2005.
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