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题名:
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碳化硅压阻式高温压力传感器关键技术研究 / 李永伟著 , |
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ISBN:
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978-7-5693-4026-6 价格： CNY78.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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114页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 西安 出版社： 西安交通大学出版社 出版日期： 2025 |
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内容提要:
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本书共六章，内容包括：碳化硅压阻式高温压力传感器设计、P型4H-SiC外延层的表征及金属/碳化硅电连接稳定性研究、基于碳化硅键合的密封腔结构制备工艺研究、碳化硅基压阻式高温压力传感器样机研制及测试等。 |
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主题词:
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硅压力传感器 研究 |
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中图分类法:
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TP212 版次： 5 |
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主要责任者:
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李永伟 著 |