题名:
原子层沉积技术   / 陈蓉 ... [等] 著 ,
ISBN:
978-7-5772-1800-7 价格： CNY168.00
语种:
chi
载体形态:
503页 图, 肖像 25cm
出版发行:
出版地： 武汉 出版社： 华中科技大学出版社 出版日期： 2025
内容提要:
本书围绕原子层沉积技术，针对原子层沉积工艺、纳米结构可控制造方法、智能制造装备研发和应用等方面进行阐述。全书共分为9章。其中，第1章阐述了原子层沉积技术的基本原理与工艺；第2和3章分别介绍了原子层沉积过程、微纳米颗粒原子层沉积技术与装备；第4章对选择性原子层沉积工艺进行了介绍；第5-9章讨论了原子层沉积技术在光致发光、电致发光、柔性封装、催化与能源材料等领域的应用，是前述章节理论方法的验证与拓展。 
主题词:
原子   沉积
中图分类法:
TB3 版次： 5
其它题名:
从制造原理到装备应用
主要责任者:
陈蓉, 著
主要责任者:
单斌 著
主要责任者:
曹坤 著
附注:
“十四五”国家重点出版物出版规划项目 国家科学技术学术著作出版基金资助 
责任者附注:
陈蓉，1978年8月出生，华中科技大学机械科学与工程学院教授、博导．华中科技大学柔性电子研究中心副主任，中组部首批“青年千人计划”入选者，教育部“新世纪优秀人才支持计划”入选者。国家重大科学研究计划——青年科学家专题项目负责人。围绕着原子层沉积、纳米颗粒制备、薄膜工艺与设备开发，承担了多项新能源与微电子相关项目的研究工作，是选择性原子层沉积技术研究的先驱者之一。在AdvancedMaterials、Energy＆EnvironmentalScience、ACSNano等国际知名期刊上发表论文50余篇；申请微纳制造领域发明专利20余项，包括5项美国专利、3项国际专利。美国劳伦斯一伯克利国家实验室开放基金特邀专家评审组成员，并担任美国NSF基金评委，ScientificReports编委，以及ACSNano、AppliedPhysicsLetters、JournalofAppliedPhvsics等国际权威期刊审稿人。