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题名:
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半导体器件与工艺 / 杨淼森等编著 , |
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ISBN:
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978-7-111-79090-7 价格： CNY68.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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180页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 机械工业出版社 出版日期： 2026 |
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内容提要:
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本书构建了半导体器件原理与制造工艺的完整知识体系，首先介绍了半导体器件物理的基础知识，然后解析了二极管、双极型晶体管、场效应晶体管等代表性半导体器件的工作机理，之后呈现了集成电路的制造工艺与设备，最后介绍了相关量测工艺与设备。 |
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主题词:
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半导体器件 半导体工艺 |
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中图分类法:
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TN303 版次： 5 |
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中图分类法:
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TN305 版次： 5 |
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主要责任者:
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杨淼森 编著 |
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附注:
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