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题名:
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耐高温陶瓷基无线无源传感器关键技术研究 / 李晨著 , |
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ISBN:
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978-7-5221-3727-8 价格： CNY92.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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172页 图 25cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 中国原子能出版社 出版日期： 2024 |
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内容提要:
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本书围绕无源耐高温压敏元件的关键技术，在无线互感耦合传输理论研究的基础上，以Dupont 951陶瓷、氧化铝陶瓷等典型耐高温材料为出发点展开了详细的研究。通过LTCC微组装工艺技术，实现了LTCC敏感元件结构的完整性，最终实现了可以稳定地工作于400℃高温环境下的LTCC耐高温敏感元件的制造；通过结合LTCC微组装工艺技术与厚膜集成工艺技术，实现了氧化铝陶瓷压敏元件结构的完整性，实现了可以稳定地工作于800℃高温环境下的氧化铝陶瓷耐高温敏感元件的制造，为超高温环境下压力、温度参数的原位测试技术发展奠定了基础。 |
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主题词:
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高温陶瓷 压力传感器 |
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中图分类法:
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TP212 版次： 5 |
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主要责任者:
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李晨 著 |
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责任者附注:
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李晨，中北大学半导体与物理学院教授，博士生导师，动态测试技术国家重点实验室成员。2015年博士毕业于中北大学仪器与电子学院（硕博连读），仪器科学与技术专业。 |