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题名:
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集成电路工艺实验 / 谭永胜, 方泽波主编 , |
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ISBN:
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978-7-5770-1376-3 价格： CNY42.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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99页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 成都 出版社： 电子科技大学出版社 出版日期： 2025 |
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内容提要:
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本书按一个完整的半导体集成电路工艺过程工艺作用来讲述, 将各种集成电路单项工艺分为清洗、薄膜沉积、掺杂和图形转移等几类。各部分内容是以提取重要的、有重复性和代表性的工序排成的实验项目。学生真正掌握了这些实验的方法, 熟悉各大型设备的实际操作, 即可在工艺线上单独流片, 制造出合格的、结构较简单的集成电路芯片。 |
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主题词:
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集成电路工艺 实验 |
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中图分类法:
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TN405-33 版次： 5 |
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主要责任者:
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谭永胜, 主编 |
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主要责任者:
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方泽波, 主编 |