题名:
等离子体与功能电介质   / 张嘉伟, 张建威主编 ,
ISBN:
978-7-121-49567-0 价格: CNY49.80
语种:
chi
载体形态:
173页 图 26cm
出版发行:
出版地: 北京 出版社: 电子工业出版社 出版日期: 2025
内容提要:
本书共7章。第1章为绪论,对等离子体和功能电介质进行了介绍;第2章为功能电介质的等离子体改性,介绍了等离子体技术与功能电介质在特高压输电中的应用;第3章为功能电介质极化及老化,分析了功能电介质的极化和老化现象;第4章为功能电介质及传感技术,介绍了传感器的基本原理及应用;第5章为等离子体仿真技术,介绍了现有的等离子体数值模型;第6章和第7章分别为半导体中的等离子体刻蚀和等离子体放电催化,展示了等离子体与功能电介质在半导体及催化领域的应用。 
主题词:
等离子体  
主题词:
电介质  
中图分类法:
O53 版次: 5
中图分类法:
O48 版次: 5
主要责任者:
张嘉伟 主编
主要责任者:
张建威 主编