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题名:
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微纳制造与微机电系统 / 李经民, 刘冲, 王立鼎编著 , |
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ISBN:
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978-7-03-079358-4 价格： CNY82.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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281页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2024 |
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内容提要:
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本书共8章，第1章概述MEMS的定义、特点、制造技术、发展历程与未来发展趋势；第2、3章分别介绍体硅和表面微加工技术的原理、流程、常见问题与解决方法；第4章阐述近年来体硅和表面硅工艺在MEMS器件制造方面的应用；第5章介绍LIGA/准LIGA技术；第6章介绍MEMS微传感器；第7章介绍MEMS微执行器；第8章介绍MEMS技术在生物医学、军事安全、远程通信以及航空航天等领域的典型应用案例。 |
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主题词:
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微机电系统 高等教育 |
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中图分类法:
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TH-39 版次： 5 |
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主要责任者:
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李经民 编著 |
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主要责任者:
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刘冲 编著 |
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主要责任者:
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王立鼎 编著 |
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附注:
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科学出版社“十四五”普通高等教育研究生规划教材 |