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题名:
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原子层沉积技术 / 李爱东 ... [等] 编著 , |
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ISBN:
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978-7-03-082048-8 价格： CNY160.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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xiv, 636页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2025 |
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内容提要:
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本书共分为十七章。包括原子层沉积的发展历史、原理、设备、前驱体、沉积材料与生长机理以及理论计算与模拟等基础内容，又着重论述等离子体增强原子层沉积和分子层沉积等特色技术，涉及了原子层沉积在微电子、纳米技术、光学、能源、催化、含能材料、生物医学、封装、防腐、分离膜等领域的应用，还特别介绍了正在快速发展中的原子层刻蚀技术。 |
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主题词:
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原子 沉积 |
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中图分类法:
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TB3 版次： 5 |
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主要责任者:
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李爱东 编著 |
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主要责任者:
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曹燕强 编著 |
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主要责任者:
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方国勇 编著 |
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版次:
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第2版 |