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题名:
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薄膜物理与电子技术 / 主编梁继然 , |
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ISBN:
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978-7-03-080821-9 价格： CNY59.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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163页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2024 |
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内容提要:
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本书针对电子科学与技术、集成电路设计与集成系统的专业特点和需求，将现有的薄膜科学技术发展前沿成果与薄膜物理基础相结合，围绕集成电路、电子器件的要求，建立包含制备工艺、微纳结构、电学性能在内的完整的知识体系，使学生了解工艺、结构、性能之间的影响关系，引导学生利用薄膜的基础知识解决新的工程技术或科学问题，提升学生进行薄膜工艺设计、薄膜性能探索的能力。 |
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主题词:
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薄膜物理学 电子技术 |
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中图分类法:
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O484 版次： 5 |
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主要责任者:
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梁继然 主编 |