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题名:
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光学镜面离子束修形理论、工艺与装备 / 周林著 , |
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ISBN:
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978-7-03-082662-6 价格： CNY128.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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x, 144页 图 (部分彩图) 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2025 |
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内容提要:
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本书详细介绍了作者自博士课题研究以来, 多年对光学镜面离子束修形理论、工艺与装备的研究成果。主要内容包括离子束去除函数的建模与分析、离子束修形驻留时间求解算法与优化、离子束修形能力分析、离子束修形工艺中的误差分析、离子束修形工艺优化、离子束修形试验验证、离子束修形装备等。 |
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主题词:
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光学镜面 修形 |
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中图分类法:
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TG664 版次： 5 |
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主要责任者:
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周林 著 |