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题名:
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微电子工艺实验教程 / 主编王珏 , |
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ISBN:
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978-7-121-50690-1 价格： CNY45.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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161页 图 (部分彩图) 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 电子工业出版社 出版日期： 2025 |
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内容提要:
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本书精心设计了12个实验, 包括1个工艺仿真基础实验、6个单步工艺实验和5个成套工艺实验。 |
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主题词:
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微电子技术 实验 |
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中图分类法:
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TN4-33 版次： 5 |
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主要责任者:
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王珏 主编 |
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责任者附注:
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王钰, 浙大城市学院信息与电气工程学院副教授、浙江大学/浙江工业大学硕导, 近年的研究方向侧重于碳化硅功率器件、功率集成芯片、电源管理集成芯片设计与研究工作。 |