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题名:
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压电薄膜体声波谐振器及滤波器设计 / 吴秀山著 , |
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ISBN:
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978-7-122-47463-6 价格： CNY78.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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168页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 化学工业出版社 出版日期： 2025 |
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内容提要:
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本书主要讲述压电薄膜体声波谐振器 (Film Bulk Acoustic Resonators, FBAR) 的工作原理, 推导FBAR的电学阻抗表达式, 由此构建其Mason模型, 对其底电极、顶电极、压电层的结构参数, 以及有效谐振面积对器件谐振频率的影响进行模拟仿真与验证, 并针对FBAR的温度漂移提出有效的温度补偿措施; 其次介绍FBAR的二维与三维建模过程, 利用有限元分析法研究FBAR的电极形状、面积及器件结构对谐振模态的影响, 并从有限元分析中提取相关损耗参数, 修正和提高Mason电学模型的精度; 最后分析FBAR滤波器的工作原理, 从滤波器的级联方式、串并联FBAR 的有效谐振面积比、滤波器的级联阶数等方面进行研究, 给出FBAR滤波器优化设计过程。 |
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主题词:
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压电薄膜 声表面波谐振器 |
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中图分类法:
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TN62 版次： 5 |
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中图分类法:
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TN713 版次： 5 |
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主要责任者:
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吴秀山, 著 |
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责任者附注:
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吴秀山(1974-), 山东莱芜人, 博士, 副教授, 硕士生导师, 一直从事测试计量技术、集成电路设计与MEMS器件方面的科研与教学工作, 现为浙江水利水电学院电气工程学院副院长。 |