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题名:
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“芯”制造 / 赵巍胜, 王新河, 林晓阳等编著 , |
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ISBN:
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978-7-115-65446-5 价格： CNY150.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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x, 434页 彩图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 人民邮电出版社 出版日期： 2024 |
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内容提要:
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本书结合芯片制造技术及产业特点，以集成电路的上游、中游和下游产业线为链，展开每一部分产业的上游、中游和下游，以分形的方式，梳理整个芯片制造产业，形成产业分形树状图谱。具体内容是以应用为牵引，涵盖集成电路中上游设计、中游制造和下游的封测，侧重芯片的先进制造和先进封测，以分形的形式展开产业链的梳理。首先分析先进制造的工艺与设备，介绍先进制造涉及单项、模块和系统工艺，并针对工艺过程中的工艺耗材，进一步对其上游原材料、中游设备和下游制造进行挖掘。详解制造过程中的光刻、沉积、刻蚀、量产及其他方面的制造设备，并对核心设备零部件所涉及的上游原材料，中游设备和下游制造进行梳理。在先进封测方面，涉及先进封装的设计、工艺和设备，并依次分析封装中涉及的材料和设备的上游原材料或零部件，中游设备和下游制造的产业技术情况。 |
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主题词:
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集成电路工艺 |
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中图分类法:
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TN405 版次： 5 |
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其它题名:
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集成电路制造技术链 |
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主要责任者:
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赵巍胜 编著 |
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主要责任者:
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王新河 编著 |
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主要责任者:
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林晓阳 编著 |
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附注:
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“十四五”时期国家重点出版物出版专项规划项目 集成电路科学与工程前沿 工信知识赋能工程 工信学术出版基金 |
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责任者附注:
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赵巍胜，中国科学技术协会第十届全国委员会常务委员会委员、第八届教育部科学技术委员会委员、北京航空航天大学副校长、自旋芯片与技术全国重点实验室常务副主任、“空天信自旋电子技术”工业和信息化部重点实验窒主任、《集成电路与嵌入式系统》期刊主编。 |