|
题名:
|
电子薄膜技术与前沿应用 / 于贺主编 , |
|
ISBN:
|
978-7-5770-1567-5 价格： CNY59.00 |
|
语种:
|
chi |
|
载体形态:
|
179页 图 24cm |
|
出版发行:
|
出版地： 成都 出版社： 成都电子科大出版社 出版日期： 2025 |
|
内容提要:
|
本书共10章，第1章为绪论，第2章至第7章的内容涵盖了真空技术基础、蕉发镀膜法、溅射沉积法、离子镀膜技术、化学气相沉积技术、溶液镀膜法等传统制备工艺，第8章至第10章的内容涵盖了电子薄膜的生长理论、电子薄膜的常见表征方法，以及新型电子海膜的开发及前沿技术领域应用等方面。在第10章中，重点探讨了电子海膜技术在微电子与集成电路、光电子、能源电子、超导以及柔性电子技术领域中的最新应用与前沿发展。 |
|
主题词:
|
电子材料 薄膜 |
|
中图分类法:
|
TN451 版次： 5 |
|
主要责任者:
|
于贺 主编 |