题名:
微电子技术创新与实践教程   / 陈力颖编著 ,
ISBN:
978-7-302-68819-8 价格: CNY69.00
语种:
chi
载体形态:
196页 图 26cm
出版发行:
出版地: 北京 出版社: 清华大学出版社 出版日期: 2025
内容提要:
本书内容包括第3代半导体材料、半导体纳米材料、新型半导体器件、设计工具与设计方法、集成电路工艺技术等,涵盖了从半导体材料、器件、设计到工艺技术等。 
主题词:
微电子技术   高等学校
中图分类法:
TN4 版次: 5
主要责任者:
陈力颖, 编著
版次:
2版
附注:
教育部高等学校电子信息类专业教学指导委员会规划教材