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题名:
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气体与湿度传感器MEMS技术及应用 / 汪飞, 刘欢等著 , |
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ISBN:
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978-7-118-13403-2 价格： CNY148.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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XIV, 398页 彩图 25cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 国防工业出版社 出版日期： 2024 |
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内容提要:
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本书重点讲述气体和湿度传感器设计制作的基本原理、方法及其应用，从气体和湿度传感器的器件结构、材料、制作工艺等方面展开，分析介绍了典型传感器件和材料的表征技术与主要性能参数，并结合国内外前沿研究动态提出本领域的发展趋势。 |
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主题词:
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微机电系统 应用 |
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中图分类法:
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TP212 版次： 5 |
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主要责任者:
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汪飞 著 |
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主要责任者:
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刘欢 著 |
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附注:
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国家出版基金项目 |