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题名:
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传感器与MEMS设计制造技术 / 朱真等编著 , |
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ISBN:
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978-7-118-13400-1 价格： CNY268.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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xxi, 662页 图 (部分彩图) 25cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 国防工业出版社 出版日期： 2024 |
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内容提要:
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本书主要介绍了MEMS传感器的设计制造技术与应用，从MEMS的概念与典型MEMS传感器出发，阐述了硅基MEMS器件设计制造的技术原理与工艺流程，介绍了部分非硅基特殊材料传感器的制造技术，结合相关案例展望了MEMS设计制造领域设备和工艺的发展趋势。 |
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主题词:
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微机电系统 应用 |
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中图分类法:
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TP212 版次： 5 |
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主要责任者:
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朱真 编著 |