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题名:
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太赫兹行波管高频电路及其微制造技术 / 马天军编著 , |
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ISBN:
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978-7-5124-4359-4 价格： CNY39.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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122页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 北京航空航天大学出版社 出版日期： 2024.3 |
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内容提要:
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本书着重对0.1THz、0.22THz、0.3THz和1.03THz折叠波导高频结构及其微细制造方法进行了阐述。对0.1THz折叠波导采用超精密电火花线切割技术和LIGA技术来进行制造; 对于0.22THz折叠波导及其集成级联结构采用UV-LIGA技术来制造; 对于0.3THz折叠波导则采用LIGA工艺来制造; 对于1.03THz折叠波导高频结构采用DRIE技术来制造。针对不同的制造方法, 分别设计了具体的实施方案。本书对微细制造工艺过程中的关键工艺技术进行了描述。 |
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主题词:
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高频 电子电路 |
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中图分类法:
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TN710.6 版次： 5 |
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主要责任者:
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马天军 编著 |