题名:
聚焦离子束   / 邓昱 ... [等] 著 ,
ISBN:
978-7-305-28496-0 价格： CNY68.00
语种:
chi
载体形态:
250页, 12页图版 图 (部分彩图) 23cm
出版发行:
出版地： 南京 出版社： 南京大学出版社 出版日期： 2024.12
内容提要:
本书力求从简要、易懂、可操作性强的编写角度出发, 概述聚焦离子束在各类失效分析中的应用原理、方法及重要性, 并从实际工作角度出发, 举例说明聚焦离子束在失效分析中的具体应用及注意要点; 同时给出了聚焦离子束原位分析方法、应用及过程, 介绍了聚焦离子束的最新自动化操作方向的发展及实际案例。 
主题词:
集成电路工艺   离子束加工
中图分类法:
TN405.98 版次： 5
其它题名:
失效分析
主要责任者:
邓昱 著
主要责任者:
陈振 著
主要责任者:
汪林俊 著
责任者附注:
邓昱, 南京大学亚原子电镜中心主任, 博士生导师, 江苏省电镜学会副理事长, 江苏省第三代半导体器件性能测试与材料分析工程研究中心副主任。陈振, 广电计量检测 (无锡) 有限公司副总经理, 江苏省第三代半导体器件性能测试与材料分析工程研究中心副主任, 上海市大规模集成电路分析测试专业技术服务平台负责人。汪林俊, 中国科学技术大学高级工程师, 微纳研究与制造中心主任助理。