题名:
集成电路先进工艺制造   / 陆卫, 宋艳汝主编 ,
ISBN:
978-7-5478-7044-0 价格： CNY178.00
语种:
chi
载体形态:
10, 436页 彩图 24cm
出版发行:
出版地： 上海 出版社： 上海科学技术出版社 出版日期： 2025.3
内容提要:
本书从集成电路制造的工艺、设备、厂务3个关键内容出发, 融合了集成电路制造的理论基础和前沿实践技术, 深入浅出地探讨了集成电路制造的全过程。通过大量工艺设备的使用案例分析、实验数据、设备操作标准程序和教学实践视频, 帮助读者掌握实际操作。此外, 在介绍当前主流制造技术的同时, 还深入讲解了产业界量产设备的基本原理、动力需求和应用实践。 
主题词:
集成电路工艺  
中图分类法:
TN405 版次： 5
主要责任者:
陆卫 主编
主要责任者:
宋艳汝 主编
次要责任者:
彭鹏飞 参编
次要责任者:
张妍亭 参编
责任者附注:
本书参编: 彭鹏飞, 张妍亭, 刘娟娟, 杨津津, 翁思远等 
责任者附注:
陆卫, 上海科技大学教授, 上海科技大学物质科学与技术学院执行院长、中国空间科学学会副理事长。宋艳汝, 上海科技大学材料器件中心助理主任、技术负责人、副研究员。从事超导光电探测器及超导工艺技术研发。