题名:
光刻胶材料评测技术   / (日) 关口淳著 , 方书农译
ISBN:
978-7-122-43800-3 价格： CNY198.00
语种:
chi
载体形态:
254页 图 (部分彩图) 27cm
出版发行:
出版地： 北京 出版社： 化学工业出版社 出版日期： 2024.4
内容提要:
本书从光刻技术基础知识出发, 系统介绍了多种类型光刻胶应用工艺、评测技术。具体包括光刻胶涂布、曝光工艺、曝光后烘烤和显影技术, 以及g线和i线光刻胶、KrF和ArF光刻胶、ArF浸没式光刻胶、EUV光刻胶等的特征、应用工艺及评测技术, 希望对国内的研究人员有很好的启发和指导意义。 
主题词:
光致抗蚀剂  
中图分类法:
TQ572.4 版次： 5
其它题名:
从酚醛树脂光刻胶到最新的EUV光刻胶
主要责任者:
关口淳 著
次要责任者:
方书农 译
责任者附注:
关口淳, 1983年毕业于芝浦工业大学工学部应用化学系。进入日本化学科技公司, 在其分析研究所工作。1985年加入住友GCA公司。负责光刻胶涂覆和显影装置的工艺开发。此后, 负责光刻胶显影分析仪和光刻模拟软件的开发。