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题名:
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微纳制造与半导体器件 / 主编周圣军 , 参编施浪 ... [等] |
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ISBN:
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978-7-111-75922-5 价格： CNY69.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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290页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 机械工业出版社 出版日期： 2024.9 |
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内容提要:
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本书分为3篇, 共12章, 包括半导体基本原理 (半导体材料、能带和PN结)、微纳制造工艺 (掺杂、外延生长技术、光刻工艺、纳米压印光刻技术、刻蚀、沉积技术)、半导体器件 (器件测试分析与表征技术、Ⅲ族氮化物发光二极管、SiC压阻式压力传感器、器件仿真软件) 等内容, 对微纳制造和器件加工中涉及的技术与工艺进行了详细的介绍。 |
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主题词:
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半导体器件 高等学校 |
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中图分类法:
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TN303 版次： 5 |
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主要责任者:
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周圣军 主编 |
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次要责任者:
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施浪 参编 |
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次要责任者:
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廖喆夫 参编 |