|
题名:
|
真空镀膜技术与应用 / 主编田灿鑫 , |
|
ISBN:
|
978-7-5629-6979-2 价格： CNY98.00 |
|
语种:
|
chi |
|
载体形态:
|
234页 图 24cm |
|
出版发行:
|
出版地： 武汉 出版社： 武汉理工大学出版社 出版日期： 2024.5 |
|
内容提要:
|
本书内容涵盖了真空镀膜的关键技术和实际应用。在介绍真空镀膜技术基础理论及应用的基础上, 着重阐述了真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜、真空离子镀膜、等离子体增强化学气相沉积的原理、工艺、应用等, 紧接着介绍了薄膜厚度的测量、薄膜分析检测技术等方面的内容, 最后详细阐述了工模具真空镀膜生产线的具体工艺流程。本书叙述深入浅出, 内容丰富而精炼, 工程实践性强, 在强化理论的同时, 重点突出了工程应用, 具有很强的实用性。 |
|
主题词:
|
真空技术 镀膜 |
|
中图分类法:
|
TN305.8 版次： 5 |
|
主要责任者:
|
田灿鑫 主编 |