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题名:
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MEMS 技术及其应用 / 李德胜等编著 , |
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ISBN:
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7-5603-1694-8 价格： CNY18.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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301页 21cm |
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出版发行:
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出版地： 哈尔滨 出版社： 哈尔滨工业大学出版社 出版日期： 2002 |
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内容提要:
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本书共有八章，在概述微机电技术的发展背景、现状及应用前景的基础上，介绍了MWMS基本理论，随后对MEMS相关工艺做了详尽的讲述。 |
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主题词:
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微机电 技术 |
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中图分类法:
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TM38 版次： 4 |
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主要责任者:
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李德胜 编著 |
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附注:
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国家自然科学基金资助课题 哈尔滨工业大学研究成果专著出版基金资助出版 |
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索书号:
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3 |