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题名:
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半导体晶片清洗 / (美)Werner Kern主编 , 陆晓东[等]译 |
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ISBN:
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978-7-121-17397-4 价格： CNY98.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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17,350页 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 电子工业出版社 出版日期： 2012 |
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内容提要:
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本书共分为五部分十三章，详细介绍了与分立半导体器件及超大规模集成电路芯片制造相关的各种晶片清洗技术，着重讲解了这些清洗技术的发展过程、基本原理和实际应用问题。 |
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主题词:
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半导体晶体 清洗技术 |
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中图分类法:
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TN305.9 版次： 5 |
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主要责任者:
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克恩 主编 |
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次要责任者:
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陆晓东 译 |
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附注:
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国外电子与通信教材系列 |
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索书号:
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1 |