题名:
MEMS多晶圆旋转机械   / (美)Jeffrey H. Lang著 , 刘欢[等]译
ISBN:
978-7-118-10543-8 价格: CNY120.00
语种:
chi
载体形态:
11,361页 图 24cm
出版发行:
出版地: 北京 出版社: 国防工业出版社 出版日期: 2016
内容提要:
本书共九章,内容包括:系统设计和器件综述、微发动机的加工、微尺度旋转磁场机械的加工、热流体和涡轮机械、发动机与发电机、旋转机械的微燃烧室等。 
主题词:
微电机  
中图分类法:
TM38 版次: 5
其它题名:
涡轮机、发电机和发动机
主要责任者:
次要责任者:
刘欢
附注:
装备科技译著出版基金 西安工业大学专著出版基金资助 
索书号:
1