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题名:
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惯性MEMS器件原理与实践
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(德)沃克尔·肯普(Volker Kempe)著
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张新国等译
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ISBN:
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978-7-118-10887-3
价格：
CNY128.00
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语种:
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chi
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载体形态:
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12,410页
图
24cm
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出版发行:
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出版地：
北京
出版社：
国防工业出版社
出版日期：
2016
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内容提要:
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本书共分9章，包括换能器、非惯性力、MEMS工艺、一级封装、电路接口、加速度计、陀螺仪、测试与标定等内容。
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主题词:
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微电子技术
传感器
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中图分类法:
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TP212
版次：
5
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主要责任者:
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肯普
著
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次要责任者:
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张新国
译
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附注:
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装备科技译著出版基金
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索书号:
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1
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